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金剛石薄膜的發(fā)展,制備及應(yīng)用

更新時(shí)間:2009-11-04      點(diǎn)擊次數(shù):3031

簡(jiǎn)要介紹了金剛石薄膜的發(fā)展,總結(jié)了金剛石薄膜的幾種主要制作工藝,并對(duì)各種工藝的優(yōu),缺點(diǎn)進(jìn)行了分析.結(jié)合對(duì)金剛石應(yīng)用的討論,闡述了金剛石薄膜在工業(yè)領(lǐng)域中的應(yīng)用前景和發(fā)展趨勢(shì).

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